Сканирующая зондовая микроскопия и наноэлектроника

Зачет
Продолжительность: 1 семестр, 36 часов

Курс направлен на обеспечение наиболее полного знакомства с основными методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и принципами работы конкретных приборов, используемых в наноэлектронике. Существенное внимание уделяется особенностям применения сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии (СТМ\СТС), атомной силовой микроскопии (АСМ) и оптической микроскопии ближнего поля (СОМБП) для нанодиагностики и исследования процессов в наносистемах. Для СТМ рассматривается влияние локализованных состояний и неравновесных туннельных эффектов на СТМ изображения и спектры туннельной проводимости. В методе АСМ анализируются возможности применения спектроскопии межатомных взаимодействий для определения физико-химических свойств материалов. СОМБП рассмотрен как метод изучения оптических свойств объектов с субволновым разрешением. Представлены методы использования СОМБП для локального картирования поляризационных характеристик света и распределения электромагнитного поля. В заключение рассматривается возможность применения СЗМ для нанотехнологий.